[发明专利]电子束轰击炉电子光路系统电源控制方法及电源装置无效
| 申请号： | 200810073413.7 | 申请日： | 2008-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN101237727A | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 韦寿祺;莫金海;李海标 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | H05B7/144 | 分类号： | H05B7/144;C21B11/10;C21C5/52;C22B4/00 |
| 代理公司： | 桂林市持衡专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 欧阳波 |
| 地址： | 541004广*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明为电子束轰击炉电子光路系统电源的控制方法及电源装置，本方法以电子束发生系统电源的加速电压取样信号开方值为聚焦和偏转扫描电源的控制信号，聚焦和偏转扫描的电流幅值按此控制信号线性变化，使电子光路系统运行参数不受加速电压波动的影响。本电源装置将加速电压取样信号接开方器后分别接入聚焦和偏转扫描电源控制电路，采用电流滞环跟踪脉冲调制控制器，工作电流在希望值上下小幅振荡。以加速电压取样信号开方值信号控制聚焦电流，以偏转扫描综合信号与加速电压取样信号开方值的乘积为总控制信号控制偏转扫描电流，使电子束的焦距和偏转扫描区域不受加速电压变化影响，故障时电子束焦距和偏转扫描区域的变化被抑制在允许范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 轰击 电子 系统 电源 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种电子束轰击炉电子光路系统电源的控制方法，包括对聚焦电源的和对偏转扫描电源的控制方法，其特征在于：以电子束发生系统电源的加速电压的线性取样信号的开方值作为聚焦电源和偏转扫描电源的控制信号，聚焦电流的幅值和偏转扫描电流的幅值按此控制信号线性变化，使得电子光路系统运行参数在加速电压波动时保持恒定。
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