[发明专利]全自动引线键合机金线断线检测装置

摘要

本发明涉及一种全自动引线键合机金线断线检测装置，适用于全自动引线键合机等半导体设备自动焊线过程中全程在线检测的设备。本发明由中央处理单元、IO接口电路、RS422接口电路、信号源发生器、可编程电压源、缓冲放大器BF1、采样电路、差分放大器、线性整流电路、比较器、缓冲器BF2、数字化处理电路、短路检测电路组成。本发明积极效果是能够自动检测是否存在断线、键合强度差、线尾过短等不符合键合工艺要求的问题出现，以便提醒操作人员及时发现问题，从而对工艺参数进行修改以达到工艺要求。

主权项

1.全自动引线键合机金线断线检测装置，其特征在于它由中央处理单元、IO接口电路、RS422接口电路、信号源发生器、可编程电压源、缓冲放大器BF1、采样电路、差分放大器、线性整流电路、比较器、缓冲器BF2、数字化处理电路、短路检测电路组成；所述中央处理单元分别与IO接口电路和RS422接口电路双向连接，所述信号源发生器的输出端接可编程电压源的输入端，可编程电压源与中央处理单元双向连接，可编程电压源的第一路输出即交流信号电压接缓冲放大器BF1的输入端，缓冲放大器BF1的一路输出经过采样电路接差分放大器的一个输入端，缓冲放大器BF1的另一路输出直接接差分放大器的另一个输入端，所述采样电路依次与键合机的线夹、金线、被键合芯片、料条夹持传输台形成电流回路；所述差分放大器的输出端经线性整流电路接所述比较器的一个输入端，可编程电压源的第二路输出即可编程参考比较基准电压接所述比较器的另一个输入端；所述比较器的输出端经所述缓冲器BF2接所述数字化处理电路的输入端，数字化处理电路的输出端接中央处理单元的输入端，中央处理单元的功能控制输出接数字化处理电路的控制端；所述采样电路的另一路输出端经短路检测电路接中央处理单元的一个输入端。