[发明专利]微牛/纳牛级超微力值测量装置及力值溯源方法无效
| 申请号： | 200810053829.2 | 申请日： | 2008-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN101319980A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 齐永岳;林玉池;赵美蓉;付鲁华;黄银国;宋乐 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01N13/00 | 分类号： | G01N13/00;G01N13/16 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 江镇华 |
| 地址： | 300072天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明属于超微小力值计量与测量技术领域，涉及一种微牛/纳牛级超微力值测量装置，包括杠杆，杠杆的一端为承载盘，另一端悬挂有弹簧，弹簧的另一端固定有内电极，所述内电极的上部设置有限制其沿z轴以外的运动自由度的机构，下部为圆筒形，在所述内电极下部外面套有外电极，所述外电极为与所述内电极的下部圆筒形同轴的圆筒形，其内径大于所述内电极下部圆筒形的外径，在所述外电极的另一端设置有用于测量内电极位移量的激光干涉仪。本发明同时提供一种超微小力值溯源方法，本发明提供的测量装置，其精度能够满足力值最高标准的需要，可以用来标定如探针型测力传感器、表面张力传感器以及在微机电系统、生物芯片制造技术中的微力检测器等。 | ||
| 搜索关键词： | 微牛 纳牛级超微力值 测量 装置 溯源 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微牛/纳牛级超微力值测量装置，包括杠杆，杠杆的一端为承载盘，另一端悬挂有弹簧，弹簧的另一端固定有内电极，所述内电极的上部设置有限制其沿z轴以外的运动自由度的机构，下部为圆筒形，在所述内电极下部外面套有外电极，所述外电极为与所述内电极的下部圆筒形同轴的圆筒形，其内径大于所述内电极下部圆筒形的外径，在所述外电极的另一端设置有用于测量内电极位移量的激光干涉仪。
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