[发明专利]钽酸锂薄膜红外探测器及制法无效

专利信息
申请号: 200810044964.0 申请日: 2008-03-13
公开(公告)号: CN101246055A 公开(公告)日: 2008-08-20
发明(设计)人: 黄大贵;张德银;董政;李金华;李坤 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: G01J5/58 分类号: G01J5/58;G01J5/62
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 610054四*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明涉及钽酸锂薄膜红外探测器及制法。本发明包括:一红外滤波窗口,一谐振斩波调制器,一聚焦透镜,一热释电钽酸锂薄膜红外探测头,一热沉腔体,一前置放大器,一低通滤波器,一电源及信号输出接口,一壳体,一环境温度探测补偿器。探测器制法,包括:选基底,在其正反面生长SiO2层,依次在正面沉积Si3N4层,溅射Ti层,溅射光刻Pt电极层,制备钽酸锂薄膜层,沉积光刻Al电极层,生长光刻SiNX抗反射层,溅射黑层,完成制作双元结构红外探头。聚焦透镜上涂防反射膜。红外窗口贴窄带滤波膜。前置放大器用JFET管或运放搭建。低通滤波器由运放搭建。谐振斩波调制器用压电驱动,或电磁驱动,谐振频率为1Hz~1000Hz。
搜索关键词: 钽酸锂 薄膜 红外探测器 制法
【主权项】:
1、一种钽酸锂薄膜红外探测器及制法,包括:一红外滤波窗口,对入射辐射红外光进行滤波,消除背景可见光和其它非探测波段光对探测器的干扰;一谐振斩波调制器,该谐振斩波调制器可以安装在探测器壳体内,也可以安装在探测器壳体外,都对通过红外滤波窗口的入射红外光进行斩波调制;一聚焦透镜,置于红外滤波窗口的正后方,使经过红外窗口滤波的入射辐射红外光全部聚焦到热释电钽酸锂薄膜红外探测头上;一热释电钽酸锂薄膜红外探测头,由多层膜系构成,包括以下几部分:(1)红外吸收黑层,吸收入射辐射红外光并转化成热能;(2)上电极层,位于红外吸收黑层正下方,和热释电钽酸锂薄膜层上表面上方,可焊接导线,引出热释电响应信号;(3)热释电钽酸锂薄膜层,位于上电极层的下面和下电极层的上面,为热释电红外敏感层,将黑层吸收的热能通过钽酸锂薄膜的热释电效应转换为热电响应信号;(4)下电极层,蒸发沉积钽酸锂薄膜层下表面,可焊接导线,引出热释电响应信号;(5)绝热层,蒸发沉积在下电极的下表面上,阻止热流向硅基底层传播;(6)支撑层,蒸发沉积在绝热层的下表面上,对上述各层起支撑作用;(7)背面腐空的硅基底层,位于支撑层下方,用腐蚀液对热释电钽酸锂薄膜层正下方的硅基底层背面腐蚀出一个空腔,阻止热流散失;一热沉腔体,为热释电钽酸锂薄膜红外探测头安装容器,并将其内部抽成真空,可避免探测器壳体内其它元器件热辐射对红外探测头的影响;一前置放大器,与热释电钽酸锂薄膜红外探测头输出端连接,对探测头输出的电信号放大并转换为电压信号,并实现阻抗匹配;一低通滤波器,对前置放大器输出的信号进行低通滤波处理,用以滤除斩波调制频带以外的高频成份;一电源及信号输出接口,该接口一部分与低通滤波器输出端连接,为探测器信号输出标准接口;该接口另一部分为电源接口,为探测器内元器件提供电源;一壳体,将上述所有器件密封在一个壳体内,然后压接封装;一环境温度探测补偿器,通过紧贴于探测器壳体内壁的温度传感器测试外界环境温度,经过计算补偿环境温度变化对探测器的影响;
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