[发明专利]基于光纤阵列的可编程式光阑及其使用方法无效
| 申请号： | 200810043746.5 | 申请日： | 2008-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN101661122A | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | 王雷 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00;G02B6/06;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于光纤阵列的可编程式光阑，涉及半导体制造用光刻装置及其使用方法，具体涉及一种半导体制造中光刻用光阑及其使用方法。包括光阑体，所述光阑体上有光纤阵列，光纤阵列由两个以上光纤单元排列组成，每个单独的光纤单元独立传播光线；由可编程的控制电路连接每一个光纤单元，控制电路控制每一个光纤单元的导通或阻断。本发明可以取代现有的基于物理或光学调节的光刻机光阑系统，实现先进光刻工艺所需要的各种需求不同的照明方式，提高了光刻工艺的能力，同时降低光刻机照明系统的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光纤 阵列 程式 光阑 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于光纤阵列的可编程式光阑，包括光阑体，其特征在于，所述光阑体上有光纤阵列，光纤阵列由两个以上光纤单元排列组成，每个单独的光纤单元独立传播光线；由可编程的控制电路连接每一个光纤单元，控制电路控制每一个光纤单元的导通或阻断。
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