[发明专利]裸晶测试机台用缓冲分类装置及该机台有效
| 申请号： | 200810043281.3 | 申请日： | 2008-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN101567327A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 林汉声 | 申请（专利权）人： | 中茂电子(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 518054广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种裸晶测试机台用缓冲分类装置，供该机台测试的复数裸晶被置放于复数测试承载盘中，且每一测试承载盘中均形成有复数分别用以承载该等裸晶的承载槽，受该机台处理装置驱动的缓冲分类装置包括：用于置放上述测试承载盘的缓冲区；复数用于分类置放该等受测裸晶、且分别形成有复数收纳该等裸晶的容置槽的出料承载盘；将该等位于缓冲区中的测试承载盘内的受测裸晶依照该处理装置驱动讯号分别移入对应出料承载盘中的搬移器。本发明还公开了采用上述缓冲分类装置的裸晶测试机台。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 机台 缓冲 分类 装置 | ||
【主权项】：
1.一种裸晶测试机台用缓冲分类装置，供该机台测试的复数裸晶被置放于复数测试承载盘中，且每一测试承载盘中均形成有复数分别用以承载该等裸晶的承载槽，其特征是，受该机台处理装置驱动的缓冲分类装置包括：用于置放上述测试承载盘的缓冲区；复数用于分类置放该等受测裸晶、且分别形成有复数收纳该等裸晶的容置槽的出料承载盘；将该等位于缓冲区中的测试承载盘内的受测裸晶依照该处理装置驱动讯号分别移入对应出料承载盘中的搬移器。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
