[发明专利]大角度麦克尔逊式剪切散斑干涉仪有效
| 申请号： | 200810041657.7 | 申请日： | 2008-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN101339002A | 公开（公告）日： | 2009-01-07 |
| 发明（设计）人： | 陆鹏;张熹;吴君毅;艾钢;曾宪友;郑长江 | 申请（专利权）人： | 中国船舶重工集团公司第七一一研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/00;G01B11/16;G01N21/954;G02B17/08 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 201108上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大角度麦克尔逊式剪切散斑干涉仪，用以进行现场测量，该干涉仪包括仪器本体和至少一光源。仪器本体包括分光棱镜、按照光路布置的物镜、场镜和第一中继镜、具有相移机构的第一、第二全反射镜、第二中继镜以及成像部件。分光棱镜具有一入射面、一出射面、一第一透射面及一第二透射面，出射面与入射面相邻。物镜面对被测物，被测物经物镜成像后在场镜会聚，再经过第一中继镜成平行光入射至分光棱镜的入射面。第一全反射镜相对分光棱镜的第一透射面设置，第二全反射镜相对分光棱镜的第二透射面设置，第二中继镜，会聚由分光棱镜的出射面射出的光，在成像部件的靶面上成像。上述干涉仪中至少有一光源用以提供被测物的照明。 | ||
| 搜索关键词： | 角度 麦克 尔逊式 剪切 干涉仪 | ||
【主权项】：
1.一种大角度麦克尔逊式剪切散斑干涉仪，包括：仪器本体，其包括：分光棱镜，具有一入射面、一出射面、一第一透射面及一第二透射面，所述出射面与所述入射面相邻；按照光路布置的物镜、场镜和第一中继镜，其中所述物镜面对被测物，被测物经物镜成像后在场镜会聚，再经过第一中继镜成平行光入射至分光棱镜的入射面；具有相移机构的第一全反射镜，相对所述分光棱镜的第一透射面设置；具有相移机构的第二全反射镜，相对所述分光棱镜的第二透射面设置；第二中继镜，会聚由所述分光棱镜的出射面射出的光；以及成像部件，接收由所述第二中继镜会聚的光；以及至少一光源，用以提供所述被测物的照明。
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