[发明专利]清洗系统上的喷射装置无效
| 申请号： | 200810038388.9 | 申请日： | 2008-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN101590474A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 陈肖科 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种清洗系统上的喷射装置。该喷射装置包括第一喷射管和第二喷射管，所述第一、第二喷射管上分别设有数个喷嘴，以分别在晶圆的正面和背面喷射清洗液；所述喷射装置还包括第三喷射管，所述第三喷射管设有对晶圆边缘喷射清洗液的喷嘴。与现有技术相比，本发明所述的喷射装置不仅设置了喷洒晶圆正面和背面的喷射管，还设置了喷洒晶圆边缘的喷射管，有效地清除了晶圆边缘的残留杂质，减少了在后续制程中出现薄膜脱落的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 系统 喷射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种清洗系统上的喷射装置，所述喷射装置包括第一喷射管和第二喷射管，所述第一、第二喷射管上分别设有数个喷嘴，以分别在晶圆的正面和背面喷射清洗液，其特征在于，所述喷射装置还包括第三喷射管，所述第三喷射管设有对晶圆边缘喷射清洗液的喷嘴。
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