[发明专利]保证顺锥形接触孔的绝缘层及其制造方法无效
| 申请号： | 200810035062.0 | 申请日： | 2008-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN101546746A | 公开（公告）日： | 2009-09-30 |
| 发明（设计）人： | 马哲国;申智渊 | 申请（专利权）人： | 上海广电NEC液晶显示器有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L21/768;H01L21/311 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 薛 琦;朱水平 |
| 地址： | 201108上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种保证顺锥形接触孔的绝缘层及其制造方法，该保证顺锥形接触孔的绝缘层包括一栅极绝缘层以及依次位于该栅极绝缘层上的第一钝化层、第二钝化层、第三钝化层，该第一钝化层、第二钝化层和第三钝化层形成顺锥形的形状。采用三层结构的钝化层，可以有效改善接触孔形状和像素电极与栅极层间的接触电阻，从而降低薄明栅极线的不良率。 | ||
| 搜索关键词： | 保证 锥形 接触 绝缘 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种保证顺锥形接触孔的绝缘层，其特征在于，其包括：一栅极绝缘层以及依次位于该栅极绝缘层上的第一钝化层、第二钝化层、第三钝化层，该第一钝化层、第二钝化层和第三钝化层形成顺锥形的形状。
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