[发明专利]基于多周期标记的色动态选择方法无效
| 申请号： | 200810033263.7 | 申请日： | 2008-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN101221376A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 韩悦;韦学志;李运锋;宋海军 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种色动态选择方法，包括：接收多个不同波长光源的各三个周期信号作为对准信号，根据反射信号强度与预定阈值的大小关系，用三周期光栅做捕获色动态和对准色动态选择，或使用大周期光栅做捕获色动态选择，小周期精细光栅进行对准色动态选择。采用本发明的方法后，不但可以获得精确的对准位置，而且可以避免因不同周期标记信号强度变化规律不正常引起的误差，保证在特定情况下选择合适的对准光束。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 周期 标记 动态 选择 方法 | ||
【主权项】：
1.一种色动态选择方法，其特征在于，包括：接收多个不同波长光源的各三个周期信号作为对准信号，根据反射信号强度与预定阈值的大小关系，用三周期光栅做捕获色动态和对准色动态选择，或使用大周期光栅做捕获色动态选择，小周期精细光栅进行对准色动态选择。
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