[发明专利]用于步进光刻机对准系统的机器视觉系统及其标定方法

摘要

一种用于步进光刻机对准系统的机器视觉系统及其标定方法，机器视觉系统由高精度运动平台，成像镜头，两组高分辨率CCD摄像机，图像采集卡，控制计算机及对准软件系统，专用监视器，运动控制卡，高精度标定板组成。标定方法采用标定点提取算法、标定算法1、标定算法2和模板匹配算法，实现具体的对准流程。本发明使得整个机器视觉系统的精度大大提高，满足光刻机对准系统的高精度对准定位要求。

主权项

1.一种用于步进光刻机对准系统的机器视觉系统，其特征在于，包含：高精度运动平台(1)；成像镜头(2)，位于高精度运动平台(1)上方；若干高分辨CCD摄像机(3，4)，设置在成像镜头(2)上方；图像采集模块(5)，电路连接所述的高分辨CCD摄像机(3，4)；控制计算机(6)，电路连接所述的图像采集模块(5)；专用监视器(7)，电路连接所述的控制计算机(6)；运动控制模块(8)，电路连接所述的控制计算机(6)和高精度运动平台(1)；高精度标定板(9)，设置在所述的高精度运动平台(1)上。