[发明专利]一种含色度监控功能的宽光谱光学镀膜在线监控系统无效
| 申请号： | 200810026853.7 | 申请日： | 2008-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN101251609A | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 江绍基;张豪杰;潘洪昌;钟金池 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10;G01J3/18;G01J3/28;G01J3/46;G01M11/02;G01B11/06 |
| 代理公司： | 广州粤高专利代理有限公司 | 代理人： | 禹小明 |
| 地址： | 510275广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种含色度监控功能的宽光谱光学镀膜在线监控系统，包括光源、用于光学镀膜的真空室、设于真空室内的监控片、多色仪、电耦合器件、A/D转换电路及计算机，光源发出的光进入真空室照射到监控片上，光透过真空室并入射到多色仪，经多色仪的光栅衍射后形成的宽光谱入射到电耦合器件上，电耦合器件采集宽光谱的各谱线对应的光强并经电耦合器件的驱动放大，再通过A/D转换电路后输入计算机，并由计算机的监控软件系统进行处理。本发明监控精度高且操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 色度 监控 功能 光谱 光学 镀膜 在线 系统 | ||
【主权项】：
1、一种含色度监控功能的宽光谱光学镀膜在线监控系统，其特征在于包括光源(1)、用于光学镀膜的真空室(2)、设于真空室(2)内的监控片(3)、多色仪(4)、电耦合器件(5)、A/D转换电路(6)及计算机(7)，光源(1)发出的光进入真空室(2)照射到监控片(3)上，光透过真空室(2)并入射到多色仪(4)，经多色仪(4)衍射后形成的宽光谱入射到电耦合器件(5)上，电耦合器件(5)采集宽光谱的各谱线对应的光强并经电耦合器件(5)的驱动放大，再通过A/D转换电路(6)后输入计算机(7)，并由计算机(7)的监控软件系统进行处理。
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