[发明专利]硅微谐振式加速度计

摘要

本发明公开了一种硅微谐振式加速度计，它由制作在单晶硅片上的加速度计结构的上层部分和制作在玻璃衬底上的信号线的下层部分所组成，加速度计上层机械结构由质量块、一对完全相同的谐振器和杠杠组成，谐振器上下对称布置在质量块的中间，谐振器的一端与固定基座连接，另一端通过杠杠与质量块连接，质量块通过四根折叠梁与其四角的固定基座连接，该固定基座安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。本发明是一种具有灵敏度高、稳定性好和抗冲击能力强的硅微谐振式加速度计。

主权项

1、一种硅微谐振式加速度计，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的加速度计机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，其特征在于：加速度计上层机械结构由质量块(1)和两个谐振器(2a、2b)组成，该两个谐振器(2a、2b)上下对称设置在质量块(1)的中间，该两个谐振器(2a、2b)的一端分别与该两个谐振器(2a、2b)之间的固定基座(4)相连，其中位于上方谐振器(2a)的另一端分别与位于其上方的两个杠杠放大机构(3a、3b)的输出端连接，该两个上方杠杠放大机构(3a、3b)的支点端分别与位于其上方的固定基座(5a)相连，位于下方谐振器(2b)的另一端分别与位于其下方的另外两个杠杠放大机构(3c、3d)的输出端连接，该两个下方杠杠放大机构(3c、3d)的支点端分别与位于其下方的固定基座(5b)相连，四个杠杠放大机构(3a、3b、3c、3d)的输入端分别与所述的质量块(1)连接，该质量块(1)通过四根折叠梁(6a、6b、6c、6d)分别与四个位于该质量块(1)四角的固定基座(7a、7b、7c、7d)相连，所有的固定基座(4、5a、5b、7a、7b、7c、7d)安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。