[发明专利]真空镀膜设备工件三维转动机构有效
| 申请号： | 200810017780.5 | 申请日： | 2008-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN101311297A | 公开（公告）日： | 2008-11-26 |
| 发明（设计）人： | 范多旺;范多进;杨树本;牛晓山;武福;孔令刚;王成龙 | 申请（专利权）人： | 兰州大成自动化工程有限公司;兰州交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 兰州振华专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张真 |
| 地址： | 730070*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明主要涉及一种真空镀膜设备工件三维转动机构，包括有动力输入轴(1－1)、公转盘支撑座(1－2)、公转转动轴承(1－3)、公转盘转动连接盘(1－4)、公转盘(1－5)，在公转盘(1－5)上设有工件转盘支撑杆(13)，工件转盘支撑杆(13)上方设有上支架(14)，工件杆(4)通过转动支撑座(15)与上支架(14)连接，工件杆(4)上设置有工件旋转轴(11)，其特点是在公转盘(1－5)上设有工件自转和工件旋转机构，公转盘转动连接盘(1－4)与自转齿轮盘(2－2)固连。本发明可实现工件在真空环境中公转、公转+旋转、公转+自转、公转+自转+旋转四种不同状态的运动效果，具备灵活性、多样性，提高镀膜质量和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 设备 工件 三维 转动 机构 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜设备工件三维转动机构，包括有动力输入轴(1-1)、公转盘支撑座(1-2)、公转转动轴承(1-3)、公转盘转动连接盘(1-4)、公转盘(1-5)，在公转盘(1-5)上设有工件转盘支撑杆(13)，工件转盘支撑杆(13)上方设有上支架(14)，工件杆(4)通过工件杆自转上定位转动支撑座(15)与上支架(14)连接，工件杆(4)上设置有工件旋转轴(11)，工件旋转轴(11)通过旋转传递链链条(12)相连接，其特征在于：在公转盘(1-5)上设有工件自转和工件旋转机构，公转盘转动连接盘(1-4)与自转齿轮盘(2-2)固连，在自转齿轮盘(2-2)上设有自转盘固定支撑座(2-1)。
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