[发明专利]相变存储器件及其制造方法无效
申请号: | 200810009506.3 | 申请日: | 2008-01-04 |
公开(公告)号: | CN101252169A | 公开(公告)日: | 2008-08-27 |
发明(设计)人: | 申雄澈;金基俊;许智贤;李孝锡 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;H01L27/24;H01L21/82;G11C11/56;G11C16/02 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 一种相变存储器件及其制造方法,所述相变存储器件在其存储节点中包括相变层,还包括:底部电极;安置在底部电极上、由相变材料制成的底部电极接触层;安置在底部电极接触层上、宽度小于底部电极接触层的第一相变层;安置在第一相变层上、宽度大于第一相变层的第二相变层;以及安置在第二相变层上的上部电极。 | ||
搜索关键词: | 相变 存储 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种相变存储器件,包括在其存储节点中的相变层,所述相变存储器件包括:底部电极;底部电极接触层,由相变材料制成且安置在所述底部电极上;第一相变层,宽度小于所述底部电极接触层且安置在所述底部电极接触层上;第二相变层,宽度大于所述第一相变层且安置在所述第一相变层上;以及上部电极,安置在所述第二相变层上。
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