[发明专利]卡盘装置

摘要

本发明公开一种卡盘装置。利用输送给卡盘体(12)的压力流体使活塞(14)移动，在此基础上，构成夹紧构件(22)的第一、第二指状体(20a、20b)被操作而沿着基体(36)开启或闭合。另外，杆形的线圈架(78)从第一、第二指状体(20a、20b)的内部穿插过，线圈(86)缠绕着线圈架(78)的小径部分(90)。伴随第一、第二指状体(20a、20b)的开/闭操作，基于线圈(86)阻抗的变化来检测其开/闭量。

主权项

1.一种借助于一对夹具的开/闭动作对工件进行夹紧的卡盘装置，其包括：卡盘体(12)；夹紧构件(22)，其具有一对夹具(20a、20b)，该对夹具被布置成相对于所述卡盘体(12)可开启和可闭合；以及检测器(24、102、122、144、152)，其对所述夹紧构件(22)的开/闭量进行检测，其包括：线圈架(78、104、128、146、156)，该线圈架被布置成基本上平行于所述夹具(20a、20b)的位移方向，并沿轴向延伸；以及线圈(86、106a、106b、124、126、148a、148b、166)，该线圈缠绕所述线圈架(78、104、128、146、156)。