[发明专利]金属-绝缘体-金属(MIM)装置及其制备方法有效
| 申请号: | 200780049295.X | 申请日: | 2007-11-06 |
| 公开(公告)号: | CN101627476A | 公开(公告)日: | 2010-01-13 |
| 发明(设计)人: | 巩雄;杨开霞;俞钢;B·J·L·尼尔松;谢泉隆;李兴中;黄鸿发 | 申请(专利权)人: | 希百特股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/22 | 分类号: | H01L29/22;H01L29/417;H01L29/861;H01L51/10;G02F1/1365;H01L29/786;H01L51/05 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 李 进;林 森 |
| 地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | 提供了用于主动矩阵背板应用的、具有至少一个通过液相加工方法形成的电极的MIM型二端开关装置;更具体说,具有对称电流-电压特征的MIM装置应用于LCD主动矩阵背板应用,而具有不对称电流-电压特征的MIM装置应用于电泳显示器(EPD)和旋转元素显示器的主动矩阵背板。特别是,底部金属、金属氧化物绝缘体和可溶液处理的顶部传导性层的组合实现了柔性显示器的高通量、滚卷方法。 | ||
| 搜索关键词: | 金属 绝缘体 mim 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种二端开关装置,其包括:在基底上形成的第一电极,其中所述第一电极包含第一传导性材料层,其中所述第一传导性材料特征为第一功函数值;无机绝缘或宽带半导体材料层;和包含第二传导性材料层的第二电极,其中所述第二传导性材料特征为第二功函数值;其中至少一部分所述无机层位于所述第一电极和所述第二电极之间;所述开关装置具有对称电流-电压特征;所述第一传导性材料和所述第二传导性材料之间的功函数差额小于约100meV;并且所述第一电极和所述第二电极中的至少一个通过液相加工方法形成在部分制成的开关装置上。
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