[发明专利]基底外壳的类金刚石碳涂层有效
| 申请号： | 200780047974.3 | 申请日： | 2007-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN101568490A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 文圣仁;C·埃克斯特伦德 | 申请（专利权）人： | 安格斯公司 |
| 主分类号： | C01B31/00 | 分类号： | C01B31/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的实施方案包括制品，其包含在塑料基底或塑料外壳的一个或多个表面上的类金刚石碳涂层或经掺杂的类金刚石碳涂层。相比于单独塑料，DLC或掺杂DLC涂层的实施方案降低了所述涂层塑料或热塑性塑料对氢气或氦气的气体渗透性。DLC或掺杂DLC涂层的表面电阻率为约107-约1014欧姆/平方，在约300nm-约1100nm下，其透光率比下层塑料基底的透光率低0％-70％。DLC涂层塑料可以用于环境外壳以保护对环境敏感的基底如半导体晶片和掩模。 | ||
| 搜索关键词： | 基底 外壳 金刚石 涂层 | ||
【主权项】：
1.一种制品，其包括：热塑性塑料和在所述热塑性塑料的一个或多个表面上粘附的类金刚石碳涂层，所述粘附的类金刚石碳涂层的氦气渗透系数比所述热塑性塑料低至少10倍，所述类金刚石碳涂层的表面电阻率为约107-约1014欧姆/平方，而且对于300nm-1100nm的光，所述粘附的类金刚石碳涂层的透光率比所述热塑性塑料低0％-70％。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安格斯公司，未经安格斯公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200780047974.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：在压力下联合产生CO2流的氢吸附提纯法
- 下一篇：深紫外投影光刻物镜
