[发明专利]从盘形物品的表面清除液体的装置和方法

摘要

本发明公开一种用于将液体从盘形物品的表面清除的方法，该方法包括以下步骤：围绕垂直于盘形物品的主要表面的轴线旋转该盘形物品；当旋转时，将液体供应至盘形物品上，其中，液体从供液口供应，该供液口朝向盘形物品的边缘越过基片运动；通过第一供气口将第一气流供应到盘形物品至一区域，其中，该区域的中心到旋转运动中心的距离不超过20mm，其中，当供应第一气体时，第一气体所供应的区域被液体层覆盖，由此在不连续的区域打开液体层；并且当旋转时，通过第二供气口将第二气流供应至盘形物品上，其中，该第二气流从第二供气口供应，该供气口朝向基片的边缘越过该基片运动，其中，当供应第二气流和液体时，第二供气口到中心的距离小于供液口到中心的距离。此外，还公开了一种实施该方法的装置。

主权项

1.一种用于从盘形物品的表面清除液体的装置，其包括：旋转夹头，其用于保持和旋转一个单盘形物品；液体分配机构，其用于将液体分配至该盘形物品上；第一气体分配机构，其包括至少一个具有孔的喷嘴，用于将气体吹至该盘形物品上；第二气体分配机构，其包括至少一个具有孔的喷嘴，用于将气体吹至该盘形物品上；运动机构，其用于使该液体分配机构和该第二气体分配机构运动越过该盘形物品，从而使第二气体分配机构和液体分配机构朝向边缘区域运动；和用于控制通过与第二气体分配机构分开的第一气体分配机构而被分配的气体流的机构，其中，第一气体分配机构的孔的横剖面积的总和小于第二气体分配机构的孔的横剖面积的总和。