[发明专利]用于离子注入系统的工件处理扫描臂有效
| 申请号： | 200780030643.9 | 申请日： | 2007-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN101517725A | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | 多诺万·贝克尔;艾瑞·埃里克松;罗伯特·米切尔;米歇尔·法朗德;马文·拉封登;阿什翁·普罗希特;史蒂夫·韦德;韦恩·阿瑟诺特;尚特努·帕萨克 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种离子注入设备、系统和用于将工件保持装置连接并断开到扫描臂的方法。提供一种扭转头，其中静电夹盘可操作地被安装，其中与一个或多个扭转头和静电夹盘结合的一个或多个旋转和非旋转部件具有一个或多个与其结合的动态流体密封。静电夹盘还可操作地从扭转头上去除，而不需要断开一个或多个动态流体密封。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子 注入 系统 工件 处理 扫描 | ||
【主权项】：
1.一种旋转末端执行器，其包括：静电夹盘，所述静电夹盘具有与其相关的一个或多个电和流体连接装置；和扭转头，所述扭转头可操作以旋转所述静电夹盘，所述扭转头包括：大致静止的非旋转外壳；旋转轴，所述旋转轴可转动地连接到非旋转外壳，所述旋转轴具有一个或多个电和流体连接装置；和K-夹盘，其中所述K-夹盘选择性地将静电夹盘连接到所述扭转头，并且所述静电夹盘的所述电和流体连接装置选择性地连接到所述扭转头的所述电和流体连接装置。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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