[发明专利]基板收纳容器无效
| 申请号： | 200780020195.4 | 申请日： | 2007-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN101460378A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 佐佐木茂伸;大堀伸一;山岸裕树 | 申请（专利权）人： | 信越聚合物株式会社 |
| 主分类号： | B65D85/86 | 分类号： | B65D85/86;H01L21/673 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可以将容器主体和盖体之间适当密封、抑制气体等进入容器主体内而污染基板的基板收纳容器。包括收纳由半导体晶片构成的基板的容器主体(1)、装卸自如地嵌入容器主体(1)的开口正面部(7)的盖体(20)、将容器主体(1)和盖体(20)之间密封的可压缩变形的垫圈(30)，在容器主体(1)的开口正面部(7)内周形成垫圈(30)用的密封面(11)，使密封面的平坦度的最大值与最小值之差小于0.50mm，并在盖体(20)上形成框形的垫圈(30)用装配部(22)。此外，垫圈(30)由安装于装配部(22)上的基体(31)、沿密封面(11)方向从基体(31)伸长的挠性密封片(34)、弯曲形成在密封片(34)的末端部而与密封面(11)压接的接触部(36)形成。 | ||
| 搜索关键词： | 收纳 容器 | ||
【主权项】：
1. 一种基板收纳容器，包括收纳基板的容器主体、嵌入该容器主体的开口部的盖体、将这些容器主体和盖体之间密封的能压缩变形的垫圈，其特征在于，在容器主体的开口部内周和盖体的某一方形成垫圈用的装配部，并在另一方形成垫圈用的密封面，密封面的平坦度的最大值与最小值之差小于0.50mm，垫圈包括装配于装配部上的基体、沿密封面方向从该基体伸长的挠性密封片、形成在该密封片上且与密封面接触的接触部。
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