[发明专利]冷压溅射靶无效
| 申请号： | 200780020115.5 | 申请日： | 2007-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN101460650A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 马库斯·舒尔特海斯;马丁·魏格特 | 申请（专利权）人： | W.C.贺利氏有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁业平;张天舒 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种包含溅射材料的溅射靶，所述溅射材料由合金或材料混合物制成，该合金或材料混合物由至少两种处于热力学不平衡状态的组分构成。根据本发明，所述组分是通过等静压冷压法或单轴冷压法来压缩的。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 | ||
【主权项】：
1. 一种溅射靶，该溅射靶包含含有合金或材料混合物的溅射材料，该合金或材料混合物由至少两种组分形成，其中所述两种组分以热力学不平衡状态存在，所述溅射靶的特征在于，所述组分是通过等静压冷压法或单轴冷压法来压缩的。
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