[发明专利]用于卷绕处理光电薄膜的组分控制无效
| 申请号： | 200780019648.1 | 申请日： | 2007-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN101454486A | 公开（公告）日： | 2009-06-10 |
| 发明（设计）人： | B·巴索尔;S·阿克苏 | 申请（专利权）人： | 索洛动力公司 |
| 主分类号： | C25D5/04 | 分类号： | C25D5/04;C25D5/10;C25D5/50;C25D7/06;C25D21/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李 帆 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供在片材、优选连续移动的卷绕片材的上表面上电镀薄膜的方法。在发明的某些方面，提供一些方法，其中检测多层中元素的摩尔比或层厚度，使得能够进行调整多元素层的步骤以获得具有预定摩尔比范围或调整厚度的多元素层。在另一方面，发明包括当卷绕片材移动通过时使用电镀单元在导电表面上连续电镀薄膜，检测在部分卷绕片材上电镀的薄膜厚度，产生相对应的厚度信号。在这个方面，当连续电镀时，使用厚度信号将该部分卷绕片材后的随后部分的卷绕片材的薄膜厚度调整为预定厚度值。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 卷绕 处理 光电 薄膜 组分 控制 | ||
【主权项】：
1. 形成多元素层的方法，所述多元素层中的元素具有预定的摩尔比范围，该方法包括步骤：在至少一沉积工位中在衬底上沉积多层薄膜，其中沉积的多层薄膜中包括期望具有预定摩尔比范围的每种元素；在至少一计量工位中检测沉积的多层薄膜中的每种元素的量；及在检测步骤后，基于每种沉积的元素量对多层薄膜进行调整，获得具有预定摩尔比范围的多元素层。
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