[发明专利]液体分配系统无效
| 申请号： | 200780015686.X | 申请日： | 2007-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN101432219A | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | B·R·罗伯茨 | 申请（专利权）人： | 液化空气电子美国有限公司 |
| 主分类号： | B67B7/00 | 分类号： | B67B7/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 吴 鹏;马江立 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种通过分配回路向需要液体的工具供应液体的系统、设备和方法。具体地，本发明涉及一种向半导体制造工艺的CMP(化学机械抛光)工具提供液体或浆液的系统、设备和方法。根据本发明，通过在分配回路中使用结合了流量或压力传感器的泵来控制流速和压力，由此使所述液体以恒定的流速和压力传输到所述工具。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 分配 系统 | ||
【主权项】：
1. 一种用于将液体分配到至少一个使用部位的设备，该设备包括：分配容器，该分配容器具有从分配容器分配液体的分配操作模式和将液体引入分配容器的填充操作模式；返回容器，该返回容器具有将未使用的液体返回到返回容器的返回操作模式和从返回容器传输出液体的传输操作模式；液体分配系统，该液体分配系统连接至少一个使用部位、分配容器和返回容器，以从分配容器向至少一个使用部位提供液体、将未使用的液体返回到返回容器中、以及将液体从返回容器传输到分配容器；以及控制装置，该控制装置调节通过液体分配系统的液体的流量，使得在至少一个使用部位处的液体流量基本恒定。
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