[发明专利]用于微电子等离子体处理工具的高性能微型射频传感器无效
| 申请号： | 200780009895.3 | 申请日： | 2007-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN101405607A | 公开（公告）日： | 2009-04-08 |
| 发明（设计）人： | 克雷格·加文;迈克尔·邦纳;肯尼思·罗西斯 | 申请（专利权）人： | 英富康公司 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孟 锐 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种高性能微型RF传感器，其维持微型封装中的增益、方向性和隔离。所述微型RF传感器包含设置在PCB构造中的经堆叠的电流和电压拾波器，所述传感器进一步包含四分之一波形变换滤波器、三轴屏蔽以及集肤效应滤波。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微电子 等离子体 处理 工具 性能 微型 射频 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量由高功率RF电源供应到微电子处理工具的等离子体处理腔室的RF电流和电压的微型RF传感器组合件，所述组合件包括：传感器头；导体；电压拾波器；以及电流拾波器，所述电压拾波器和所述电流拾波器中的每一者设置在所述传感器头内，其中所述电压拾波器和所述电流拾波器中的每一者在所述传感器头内相对于所述导体堆叠在彼此之上。
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