[发明专利]气体流量检验单元有效
| 申请号： | 200780008137.X | 申请日： | 2007-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN101395453A | 公开（公告）日： | 2009-03-25 |
| 发明（设计）人： | 小泽幸生;伊藤稔;土居广树;中田明子 | 申请（专利权）人： | 喜开理株式会社 |
| 主分类号： | G01F25/00 | 分类号： | G01F25/00;G01F1/00;G01F1/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 梁晓广;关兆辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种能提高气体流量检验可靠性的气体流量检验单元。该气体流量检验单元具有：第一截止阀(12)，其连接至流量控制装置(10)并被输入有气体；第二截止阀(13)，用于排出气体；连通件(18)，用于使第一截止阀(12)和第二截止阀(13)相互连通；压力传感器(14)，用于检测在第一截止阀(12)和第二截止阀(13)之间供应的气体的压力；温度检测器(15)，用于检测在第一截止阀(12)和第二截止阀(13)之间供应的气体的温度；以及控制装置(16)，用于检验在流量控制装置(10)内流动的气体的流动，检验是通过利用压力传感器(14)检测到的压力结果和温度检测器(15)检测到的温度结果而进行的。第一截止阀(12)的阀座(22)与第二截止阀(13)的阀座(28)之间的体积(Vk)等于或小于流量控制装置(10)的出口与第一截止阀(12)的阀座(22)之间的体积(Ve)。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 流量 检验 单元 | ||
【主权项】：
1. 一种用于安装在流量控制装置的下游的气体流量检验单元，该气体流量检验单元包括：第一截止阀，其连接至所述流量控制装置，用于输入气体；第二截止阀，其用于输出所述气体；连通件，其用于将所述第一截止阀和所述第二截止阀相互连通；压力检测器，其用于检测在所述第一截止阀和所述第二截止阀之间供应的气体的压力；温度检测器，其用于检测在所述第一截止阀和所述第二截止阀之间供应的气体的温度；以及控制装置，其用于通过利用所述压力检测器检测到的压力结果和所述温度检测器检测到的温度结果而检验流过所述流量控制装置的气体的流量，其中从所述第一截止阀到所述第二截止阀的气体的体积不大于从所述流量控制装置的出口到所述第一截止阀的体积。
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