[实用新型]一种用于真空溅镀制程的传动装置无效

专利信息
申请号: 200720126571.5 申请日: 2007-08-22
公开(公告)号: CN201083252Y 公开(公告)日: 2008-07-09
发明(设计)人: 郑玉纶 申请(专利权)人: 钰衡科技股份有限公司
主分类号: F16H1/20 分类号: F16H1/20;C23C14/34
代理公司: 北京申翔知识产权代理有限公司 代理人: 周春发
地址: 台湾省台南县*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 实用新型关于一种用于真空溅镀制程的传动装置,包括:一主体、复数个导轮、复数个第一螺旋齿轮、复数个止推固定座以及一具有复数个第二螺旋齿轮的传动心轴,贯穿于该复数个止推固定座中;其特征在于:该第一螺旋齿轮与第二螺旋齿轮相互啮合,藉由一动力源驱动该第一螺旋齿轮与第二螺旋齿轮,进而带动该导轮转动,达到传动的功能;该止推固定座将该传动心轴限定于原位旋转,使该传动心轴不因旋转时产生的侧向推移力量而移动位置。
搜索关键词: 一种 用于 真空 溅镀制程 传动 装置
【主权项】:
1.一种用于真空溅镀制程的传动装置,其特征在于,包括:一主体,具有复数个轴孔,各轴孔内贯穿轴杆;复数个导轮,分别套设于各轴杆的一端;复数个第一螺旋齿轮,分别套设于该各轴杆的另一端;复数个将传动心轴限定于原位旋转的止推固定座,设置于该主体上,介于该复数个第一螺旋齿轮之间,且与该第一螺旋齿轮位于该主体的同一平面;以及一传动心轴,贯穿于该复数个止推固定座中,其更具有复数个第二螺旋齿轮分别对应于该第一螺旋齿轮;该第一螺旋齿轮与第二螺旋齿轮相互啮合,并连接一驱动该第一螺旋齿轮与第二螺旋齿轮的动力源,进而带动该导轮转动。
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