[实用新型]一种用于真空溅镀制程的传动装置无效
| 申请号: | 200720126571.5 | 申请日: | 2007-08-22 |
| 公开(公告)号: | CN201083252Y | 公开(公告)日: | 2008-07-09 |
| 发明(设计)人: | 郑玉纶 | 申请(专利权)人: | 钰衡科技股份有限公司 |
| 主分类号: | F16H1/20 | 分类号: | F16H1/20;C23C14/34 |
| 代理公司: | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人: | 周春发 |
| 地址: | 台湾省台南县*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | 本实用新型关于一种用于真空溅镀制程的传动装置,包括:一主体、复数个导轮、复数个第一螺旋齿轮、复数个止推固定座以及一具有复数个第二螺旋齿轮的传动心轴,贯穿于该复数个止推固定座中;其特征在于:该第一螺旋齿轮与第二螺旋齿轮相互啮合,藉由一动力源驱动该第一螺旋齿轮与第二螺旋齿轮,进而带动该导轮转动,达到传动的功能;该止推固定座将该传动心轴限定于原位旋转,使该传动心轴不因旋转时产生的侧向推移力量而移动位置。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 用于 真空 溅镀制程 传动 装置 | ||
【主权项】:
1.一种用于真空溅镀制程的传动装置,其特征在于,包括:一主体,具有复数个轴孔,各轴孔内贯穿轴杆;复数个导轮,分别套设于各轴杆的一端;复数个第一螺旋齿轮,分别套设于该各轴杆的另一端;复数个将传动心轴限定于原位旋转的止推固定座,设置于该主体上,介于该复数个第一螺旋齿轮之间,且与该第一螺旋齿轮位于该主体的同一平面;以及一传动心轴,贯穿于该复数个止推固定座中,其更具有复数个第二螺旋齿轮分别对应于该第一螺旋齿轮;该第一螺旋齿轮与第二螺旋齿轮相互啮合,并连接一驱动该第一螺旋齿轮与第二螺旋齿轮的动力源,进而带动该导轮转动。
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