[实用新型]一种气体敏感阵列传感器

摘要

本实用新型公开了一种气体敏感阵列传感器，其结构为：四个测试电极分别位于基片的对边上，阵列加热器正电极及其回路电极分别位于基片的另一条对边上；测试电极的回路电极分别位于二对测试电极之间，并相互平行。测试电极的回路电极和阵列加热器正电极的回路电极连接而成‘ㄈ’形，作为公共电极；在阵列加热器正电极与阵列加热器正电极的回路电极之间的基片上印刷有加热膜，在各测试电极与其公共电极之间的基片上分别印刷有金属氧化物敏感层，在基片的中心安装有轴，轴穿过加热膜，并固定在基座的中心，基片与基座留有间隙；基座上还设有至少六个接线柱。该气体敏感阵列传感器生产成本低、功耗低、机械稳定性好、各单元具有不同的气体敏感特性，制备工艺有助于大批量生产。

主权项

1、一种气体敏感阵列传感器，其特征在于：第一、第二测试电极(9、11)和第三、第四测试电极(12、13)分别位于基片(3)的对边上，阵列加热器正电极(7)及其回路电极(10)分别位于基片(3)的另一条对边上；第一、第二测试电极(9、11)的回路电极(14)和第三、第四测试电极(12、13)的回路电极(15)位于第一、第二测试电极(9、11)和第三、第四测试电极(12、13)之间，并与分别第一、第二测试电极(9、11)和测试电极(12、13)平行，第一、第二测试电极(9、11)的回路电极(14)、阵列加热器正电极(7)的回路电极(10)和第三、第四测试电极(12、13)的回路电极(15)连接而成‘ㄈ’形作为公共电极；在阵列加热器正电极(7)与阵列加热器正电极(7)的回路电极(10)之间的基片(3)上印刷有加热膜(4)，在各测试电极与其对应的公共电极之间的基片(3)上分别印刷有金属氧化物敏感层(8)，在基片(3)的中心安装有轴(5)，轴(5)穿过加热膜(4)，并固定在基座(2)的中心，基片(3)与基座(2)之间留有间隙；基座(2)上还设有至少6个接线柱(1)，分别通过电极引线(6)与各测试电极、阵列加热器正电极(7)以及公共电极连接。