[实用新型]一种可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜无效
| 申请号： | 200720067981.7 | 申请日： | 2007-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN201035212Y | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 陈亮;许俊;庄祈龙 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/06 | 分类号： | G02B21/06;G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜。现有的晶圆检查光学显微镜只能提供白光进行宏观检查致使有些晶圆表面的缺陷很难被检查出来。本实用新型的晶圆检查光学显微镜包括用于对晶圆进行宏观检查的宏观检查单元、用于对晶圆进行微观检查的微观检查单元、用于载送晶圆至检查区域的晶圆载送机构以及用于控制上述构件进行晶圆检查的控制模块，其中，该宏观检查单元具有用于提供宏观检查光源的宏观光源模块，该宏观光源模块包括互连的光源灯和光源输出单元以及用于供使用者选用光源灯颜色的光源颜色选择单元，其中，该宏观光源模块的光源灯为多色灯。采用本实用新型能提高晶圆检查光学显微镜进行宏观检查的精确性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提供 多色 宏观 检查 光源 光学 显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜，该光学显微镜包括用于对晶圆进行宏观检查的宏观检查单元、用于对晶圆进行微观检查的微观检查单元、用于载送晶圆至检查区域的晶圆载送机构以及用于控制宏观检查单元、微观检查单元、晶圆载送机构对晶圆进行检查的控制模块，其中，该宏观检查单元具有用于提供宏观检查光源的宏观光源模块，该宏观光源模块包括光源灯以及连接在光源灯上的光源输出单元，其特征在于，该宏观光源模块的光源灯为多色灯，该宏观光源模块还包括一连接至光源灯的光源颜色选择单元，用于供使用者选用光源灯的颜色。
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