[实用新型]离子注入设备的灯丝无效
| 申请号： | 200720067979.X | 申请日： | 2007-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN201038119Y | 公开（公告）日： | 2008-03-19 |
| 发明（设计）人： | 史旭;张勇;单易飞;李虓 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317;H01J27/08;H01L21/265 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种离子注入设备的灯丝，该灯丝包括释放电子的释放电子部分和接通电压的接脚部分。灯丝的释放电子部分设置成至少两层，其中每层为W型。与现有技术相比，本实用新型的灯丝不仅不易被烧断，延长了使用寿命，而且提高了释放电子的能力。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 设备 灯丝 | ||
【主权项】：
1.一种离子注入设备的灯丝，其具有能够释放电子的释放电子部分，其特征在于：该释放电子部分设置成至少两层。
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