[发明专利]制造喷墨打印头的方法无效
| 申请号： | 200710306146.9 | 申请日： | 2007-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN101209619A | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 朴炳夏;朴性俊;河龙雄;金敬镒 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种制造喷墨打印头的方法，其包括形成墨水供给孔的改进工艺，从而能够提高生产力并通过墨水供给孔提供良好的墨水供给。该方法包括提供基板，其正面形成有用于加热墨水的加热器；在基板正面形成流动通道形成层，以使流动通道形成层限定出墨水流动通道；在流动通道形成层上形成具有喷嘴的喷嘴层；形成第一保护层，使得该第一保护层覆盖流动通道形成层和喷嘴层；将用于蚀刻基板的掩模材料施加到基板的背面；施加第二保护层到基板的侧面以保护基板的侧面；以及通过湿法蚀刻在基板上形成墨水供给孔。钽被用作掩模材料。聚对二甲苯被用作第二保护层。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 喷墨 打印头 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造喷墨打印头的方法，包括：提供基板，在其正面上形成有用于加热墨水的加热器；在所述基板的正面上形成流动通道形成层，以使所述流动通道形成层限定出墨水流动通道；在所述流动通道形成层上形成具有喷嘴的喷嘴层；形成第一保护层，使得所述第一保护层覆盖所述流动通道形成层和所述喷嘴层；将用于蚀刻所述基板的掩模材料施加到所述基板的背面；施加第二保护层以保护所述基板的侧面；以及通过湿法蚀刻在所述基板上形成墨水供给孔。
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