[发明专利]基于碳纳米管场致发射的梳齿结构微机械加速度计无效
| 申请号： | 200710304566.3 | 申请日： | 2007-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN101470131A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 叶雄英;陈烽;郭琳瑞;周兆英 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 1000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于碳纳米管场致发射的梳齿结构微机械加速度计，由硅质上硅片和下玻璃组成；上硅片包括：硅岛相对的两侧面上带有垂向可动梳齿型阳极；分别位于硅岛阳极端的N对固定于固定块的垂向固定梳齿型碳纳米管场致发射阴极；该阴极由硅质垂向梳齿和通过电泳沉积在该梳齿的垂向侧面上的碳纳米管层组成成，N＝1～100；阳极和阴极的垂向梳齿相互插于其间，齿间留有间隙；和分别连接于硅岛另外相对两侧面上的连接于硅质固定块上的回形梁；下玻璃片位上硅片下，之间通过在真空腔中溅射或蒸镀于下玻璃片与各固定块间的金属膜层共熔键合成悬空结构；由固定块上的金属膜层引出接线端子与外置检测电路连接。具加工简单，易推广和抗辐射、耐高低温等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 纳米 管场致 发射 梳齿 结构 微机 加速度计 | ||
【主权项】：
1. 一种基于碳纳米管场致发射的梳齿结构微机械加速度计，由一硅质上硅片(10)和一下玻璃片(20)组成；其特征在于，所述硅质上硅片(10)包括：一片状硅岛(2)，所述片状硅岛(2)相对的两侧面上带有垂向可动梳齿型阳极(6)；分别位于所述片状硅岛(2)的垂向可动梳齿型阳极(6)端的N对固定在固定块一(1)上的垂向固定梳齿型碳纳米管场致发射阴极(61)；所述垂向固定梳齿型碳纳米管场致发射阴极(61)由硅质垂向梳齿和通过电泳沉积在所述硅质垂向梳齿的垂向侧面上的碳纳米管层组成，其中，N＝1～100；所述垂向可动梳齿型阳极(6)的垂向梳齿插于所述垂向固定梳齿型碳纳米管场致发射阴极(61)的垂向梳齿之间，梳齿间留有间隙；和分别连接于所述片状硅岛(2)另外相对两侧面上的连接于硅质固定块二(71)上的回形梁(7)；所述下玻璃片(20)位于所述硅质上硅片(10)之下，之间通过在真空腔中溅射或蒸镀于所述下玻璃片(20)与所述硅质上硅片(10)上的各固定块之间的金属膜层共熔键合连接形成悬空结构；由固定块上的金属膜层引出的接线端子与外置检测电路电连接。
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