[发明专利]一种带加长型筒状阳极的筒状靶溅射设备

摘要

一种带加长型筒状阳极的筒状靶溅射设备，包括有：水箱，在该水箱的环壁内设有水夹层；筒状靶材，该筒状靶材的外环壁与水箱的内环壁紧密接触；加长型筒状阳极，其底壁设有若干个溅射气体进气孔，并配有阳极盖，在阳极盖上接有进气管路；数块磁体，该数块磁体围绕水箱的环壁的一周。加长筒型阳极采用无氧铜材料制成，水箱上的绝缘圈、阳极盖均为聚四氟乙烯材料绝缘制成。在制备复杂氧化物薄膜、特别是高温YBCO等稀土钡铜氧薄膜时，采用带加长型筒状阳极的筒状靶溅射设备可显著改善负氧离子轰击以及溅射物质堆积掉渣等负影响，有显著的改善薄膜生长质量、提高性能的作用。

主权项

1、一种带加长型筒状阳极的筒状靶溅射设备，其特征在于：该溅射设备包括有：水箱，该水箱为筒状，其顶部为敞口，该敞口的周边缘向外凸出形成悬挂边，其上配合有绝缘圈，并在该水箱的环壁内设有水夹层；筒状靶材，该筒状靶材为筒状，其顶部和底部均为敞口，其底部置于水箱内的底壁上，该筒状靶材的整体位于水箱的下部，该筒状靶材的外环壁与水箱的内环壁紧密接触；加长型筒状阳极，该加长型筒状阳极为筒状，其底壁设有若干个溅射气体进气孔，其顶部为敞口，该敞口的周边缘向外凸出形成支撑边，该敞口并配有阳极盖，在阳极盖上接有进气管路，该加长型筒状阳极置于水箱内，并伸入到筒状靶材内，其底部位于筒状靶材的上部位置，其外壁与筒状靶材的内壁之间留有空隙，该加长型筒状阳极的支撑边悬挂在水箱的悬挂边上，并通过所述的圈绝缘与水箱绝缘；数块磁体，该数块磁体围绕水箱的环壁的一周、间隔设在水箱的水夹层的内壁上，该数块磁体与筒状靶材的中部相对。