[发明专利]一种调整磁悬浮真空分子泵转子动平衡的方法无效
| 申请号： | 200710301429.4 | 申请日： | 2007-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN101187589A | 公开（公告）日： | 2008-05-28 |
| 发明（设计）人： | 洪申平;沙宏磊;赵雷;俞天野;郝宇平 | 申请（专利权）人： | 浙江飞旋科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M1/30 | 分类号： | G01M1/30 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100029北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种调整磁悬浮真空分子泵转子动平衡的方法，具体为：①直接从磁轴承的转子位置检测传感器获取转子的实际振动信号；②采集转子转速及相位信号；③对获取的转子振动信号进行直流成分的隔离处理；④根据转子的转速，对振动信号进行实时滤波处理，获取转子的同频振动信号；⑤利用动平衡仪或在磁悬浮真空分子泵的运行监测系统中完成后期相应的动平衡算法，并根据动平衡算法的结果对转子进行动平衡；⑥重复上述各步骤，直至转子达到所需的动平衡精度。本发明方法具有所采集的振动值精度高、动平衡精度高、转子的平衡工况与最终的实际运行工况完全一致、有利于简化动平衡设备等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调整 磁悬浮 真空 分子 转子 动平衡 方法 | ||
【主权项】：
1.一种调整磁悬浮真空分子泵转子动平衡的方法，具体为：①直接从磁轴承的转子位置检测传感器获取转子的实际振动信号，②采集转子转速及相位信号；③对获取的转子振动信号进行直流成份的隔离处理；④根据转子的转速，对振动信号进行实时滤波处理，获取转子的同频振动信号；⑤利用动平衡仪或在磁悬浮真空分子泵的运行监测系统中完成后期相应的动平衡算法，并根据平衡算法的结果对转子进行动平衡；⑥重复上述各步骤，直至转子达到所需的动平衡精度。
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