[发明专利]基板粘合方法及采用该方法的装置

摘要

本发明提供一种基板粘合方法及采用该方法的装置，将用多个卡定爪卡定保持周缘部分的支承基板与晶圆的双面粘接片粘接面相接近地相对配置，用由弹性体构成的大致半球形状的按压部件从该支承基板的非粘合面的大致中央开始按压，使该按压部件产生弹性变形一边以扁平面接触基板面一边将支承基板粘合于晶圆上。

主权项

1.一种基板粘合方法，通过介于工件和支承用基板之间的双面粘接片使工件和支承用基板粘合，上述方法包含以下过程：粘贴过程，在上述工件上粘贴双面粘接片；对位过程，用多个保持部件保持上述基板的周缘，使上述工件和基板夹着所粘贴的上述双面粘接片相接近地相对配置；粘合过程，用由弹性体构成的大致半球形状的按压部件从上述基板的非粘合面的大致中央开始按压，一边使该按压部件产生弹性变形而以扁平面接触基板面，一边将基板粘合于工件上；退避过程，当利用上述按压部件的弹性变形而对基板面进行按压接触的按压接触面接近基板周缘时，解除上述保持部件对基板的保持，且使该保持部件退避到基板外方。