[发明专利]石英晶体微量天平准确性验证试验系统

摘要

本发明涉及一种石英晶体微量天平测量准确性试验装置，包括放气室原位实时称重系统、放气物余弦定量散射系统、角系数检验系统；放气室原位实时称重系统实现放气物质量变化的实时测量，其测量值通过标定的电子天平追溯到国家质量计量基准；放气物余弦定量散射系统通过定量散射方法将10^-4g数量级的定量质量传递到石英晶体微量天平表面上的10^-7g/cm²数量级的定量质量面密度，实现了石英晶体微量天平的定量加载，其加载量测量准确性可追溯到上级和国家计量系统的质量基准；角系数检验系统，用于验证散射系统角系数的准确性，保证整个质量传递过程的受控。本发明的准确性试验系统的试验精度高，不确定度优于40％，采用放气物的真空下实时的直接称重，实现了放气速率的准确测量。

主权项

1. 石英晶体微量天平测量准确性试验系统，包括放气室原位实时称重系统(1)、放气物余弦定量散射系统(2)、角系数检验系统(3)；其中，放气室原位实时称重系统(1)经过标定的电子天平(11)、电子天平加卸载装置(12)、放气室(13)、放气室温度控制装置(14)；所述电子天平(11)直接实时对放气室(13)进行称重，电子天平加载卸载装置(12)实现所述电子天平(11)的复零保证称重的准确性；所述放气室温度控制装置(14)对放气室(13)进行非接触的温度控制，所述放气室(13)的质量值被传递到放气物(21)的质量值，实现了质量值传递；所述放气物余弦定量散射系统(2)包括放气物(21)、散射装置(12)、沉积表面(13)；放气物(21)释放的气体通过散射系统(22)，到达沉积表面(23)；放气室原位实时称重系统(1)中的放气室(13)对放气物(21)的放气速率进行的质量量值传递，散射装置(12)将质量值转换成沉积表面(23)上的质量面密度值；质量面密度值的准确性可向上追溯到国家质量计量基准；所述角系数检验系统(3)包括经过标定的电子天平(31)、电子天平加卸载装置(32)、沉积量检验板(33)；所述电子天平(31)直接实时对沉积量检验板(33)进行称重，电子天平加载卸载装置(32)实现经过标定的电子天平(11)的复零保证称重的准确性；沉积量检验板(33)接受与放气物余弦定量散射系统(2)中的沉积表面(23)相同的质量面密度的沉积，这个质量面密度由电子天平(31)质量称重，从而实现对散射系统准确验证；通过增加放气物量使得沉积量检验板(33)沉积量大于10-4g，符合经过标定的电子天平(31)的称重范围要求。