[发明专利]静电激励谐振器电容拾振结构无效
| 申请号： | 200710190225.8 | 申请日： | 2007-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN101162170A | 公开（公告）日： | 2008-04-16 |
| 发明（设计）人： | 于虹;杨磊;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01H11/06 | 分类号： | G01H11/06 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 211109江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 静电激励谐振器电容拾振结构是基于双端激励/双端检测的原理设计一种对称驱动和检测的电容拾振结构，在谐振梁(5)的上下方各设计了三个电极，其中在谐振梁(5)的上方中间为第一检测电极(1)，两侧分别为第一驱动电极(3)；在谐振梁(5)的下方中间为第二驱动电极(2)，两侧分别为第二检测电极(4)；谐振梁(5)分别与谐振梁(5)上下方的各电极垂直交叉设置，谐振梁(5)、第一检测电极(1)、第一驱动电极(3)的两端都位于基片(7)上的绝缘层(6)上，第二驱动电极(2)、第二检测电极(4)的两端都位于基片(7)与绝缘层(6)之间。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 激励 谐振器 电容 结构 | ||
【主权项】：
1.一种静电激励谐振器电容拾振结构，其特征在于在谐振梁(5)的上下方各设计了三个电极，其中在谐振梁(5)的上方中间为第一检测电极(1)，两侧分别为第一驱动电极(3)；在谐振梁(5)的下方中间为第二驱动电极(2)，两侧分别为第二检测电极(4)；谐振梁(5)分别与谐振梁(5)上下方的各电极垂直交叉设置，谐振梁(5)、第一检测电极(1)、第一驱动电极(3)的两端都位于基片(7)上的绝缘层(6)上，第二驱动电极(2)、第二检测电极(4)的两端都位于基片(7)与绝缘层(6)之间。
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