[发明专利]基板搬运机构无效
| 申请号： | 200710180984.6 | 申请日： | 2007-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN101163392A | 公开（公告）日： | 2008-04-16 |
| 发明（设计）人： | 前山行成;山冈秀嗣;石冈圣悟 | 申请（专利权）人： | OHT株式会社 |
| 主分类号： | H05K13/02 | 分类号： | H05K13/02 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在现有的搬运带载体的搬运机构中，无论是采用穿孔的搬运机构、采用滚轮对进行夹持搬运的手柄式滚轮搬运机构、还是夹住带的里外面进行搬运的夹板机构，都会对带表面产生损伤。本发明提供一种基板检测器的搬运机构，滑动搬运部6A、6B中的吸附垫25、30交互地吸附保持在带状基板5的里面，并从搬运方向的上游向下游移动；通过进行该连续的交互往复移动，使带状基板5在搬运方向上从上游侧向下游侧移动。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 机构 | ||
【主权项】：
1.一种基板搬运机构，其特征在于，具有：吸附垫，通过真空吸附而吸附保持在带状基板内侧；滑动搬运部，将吸附保持上述带状基板的上述吸附垫滑动到搬运方向下游、使未吸附保持状态的上述吸附垫返回到搬运方向的上游；升降机构，搭载上述滑动搬运部，在上述吸附垫滑动到搬运方向下游时上升、在该吸附垫返回到搬运方向上游时下降。
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