[发明专利]一种纳米压印光刻机有效
| 申请号： | 200710178789.X | 申请日： | 2007-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN101452207A | 公开（公告）日： | 2009-06-10 |
| 发明（设计）人： | 姜骥;谢常青;岑专专;商立伟;刘兴华;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米压印光刻机，包括底座、加热板、垫片、内六角螺钉、支架、传动导向压杆、十字槽沉头螺钉、螺杆和扭力计。所述加热板放置在底座上，垫片放置在加热板上，支架放置在垫片上，且所述支架、垫片和加热板通过内六角螺钉固定在底座上；所述支架的上梁中心处设有螺孔，下梁中心处设有通孔；螺杆套接在上梁螺孔内，传动导向压杆套接在下梁通孔内，螺杆和传动导向压杆相连并套接在支架的梁上；所述十字槽沉头螺钉从支架下梁前面中心处螺孔旋进，并顶住传动导向压杆中间圆柱外表面的条形凹槽；所述螺杆上端与扭力计相连。本发明提供一种结构简单、制作成本低、操作方便和使用可靠的纳米压印光刻机。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 光刻 | ||
【主权项】：
1、一种纳米压印光刻机，包括底座(11)、加热板(12)、垫片(13)、内六角螺钉(14)、支架(15)、传动导向压杆(16)、十字槽沉头螺钉(17)、螺杆(18)和扭力计(19)，其特征在于，所述加热板(12)放置在底座(11)上，垫片(13)放置在加热板(12)上，支架(15)放置在垫片(13)上，且所述支架(15)、垫片(13)和加热板(12)通过内六角螺钉(14)固定在底座(11)上；所述支架(15)的上梁中心处设有螺孔，下梁中心处设有通孔；螺杆(18)套接在上梁螺孔内，传动导向压杆(16)套接在下梁通孔内，螺杆(18)和传动导向压杆(16)相连并套接在支架(15)的梁上；所述十字槽沉头螺钉(17)从支架(15)下梁前面中心处螺孔旋进，并顶住传动导向压杆(16)中间圆柱外表面的条形凹槽；所述螺杆(18)上端与扭力计(19)相连。
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