[发明专利]一种在高温超导ReBa2Cu3O7薄膜上非原位镀制贵金属膜的方法无效
申请号: | 200710178450.X | 申请日: | 2007-11-30 |
公开(公告)号: | CN101182626A | 公开(公告)日: | 2008-05-21 |
发明(设计)人: | 王萍;李洁;陈莺飞;田海燕;王瑞兰;黎松林;李绍;郑东宁 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | C23C14/18 | 分类号: | C23C14/18;C23C14/22;C23C14/54 |
代理公司: | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 尹振启 |
地址: | 100080北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种在高温超导ReBa2Cu3O7薄膜上非原位镀制贵金属膜的方法,其中Re为Y、Gd、Nd、Dy、Eu等稀土元素,包括以下步骤:1)在高于5×10-5Pa真空度的真空室内先将高温超导ReBa2Cu3O7薄膜以每分钟50℃的升温速度加热至500±50℃,保持3分钟,然后降温至室温;2)镀制贵金属膜。该方法可以有效地改变因暴露大气而形成的表面层的晶体结构(从非晶结构相变为类体内的正交结构),获得导电性很好的表面层。最终,降低高温超导ReBa2Cu3O7薄膜与贵金属膜之间的接触电阻。 | ||
搜索关键词: | 一种 高温 超导 reba sub cu 薄膜 原位 贵金属 方法 | ||
【主权项】:
1.一种在高温超导ReBa2Cu3O7薄膜上非原位镀制贵金属膜的方法,其中Re为选自Y、Gd、Nd、Dy、Eu中的一种或多种稀土元素,包括以下步骤:1)真空室内先将高温超导ReBa2Cu3O7薄膜在好于5×10-5Pa真空度下以每分钟50℃的升温速度加热至500±50℃,保持3分钟,然后自然降温至室温;2)在高于5×10-5Pa真空度时镀制贵金属薄膜。
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