[发明专利]一种三自由度高精密定位运动台装置及定位方法有效
| 申请号： | 200710172936.2 | 申请日： | 2007-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN101211669A | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 张方元;沈锦华;陈锐 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00;B25H1/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种三自由度高精密定位运动台装置及定位方法，该运动台装置除包含运动平台外，还包含水平丝杠电机，第一垂直丝杠电机和第二垂直丝杠电机，以及各自对应设置的Home位置传感器；该运动台装置的定位方法通过采用水平方向，垂直方向及旋转角度的三自由度坐标系标定方法，对运动台装置进行坐标零位搜索定位。本发明提供的定位方法可在重复定位中达到微米和微弧度级的高精度，且在定位过程中三个自由度方向均不存在定位死区，同时，本发明提供的定位方法简单合理，实现成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自由度 精密 定位 运动 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种三自由度高精密定位运动台装置，包含运动平台(7)，其特征在于，还包含：水平丝杠电机(4)，其沿运动平台(7)水平方向设置，且与运动平台(7)的垂直侧面连接；在沿着该水平丝杠电机(4)的设置方向上对应设置有水平Home位置传感器(1)；第一垂直丝杠电机(5)，其沿运动平台(7)垂直方向设置，且与运动平台(7)的水平侧面连接；在沿着该第一垂直丝杠电机(5)的设置方向上对应设置有第一垂直Home位置传感器(2)；第二垂直丝杠电机(6)，其沿运动平台(7)垂直方向设置，与运动平台(7)的水平侧面连接，且与第一垂直丝杠电机(5)间隔位于运动平台(7)的同侧；在沿着该第二垂直丝杠电机(6)的设置方向上对应设置有第二垂直Home位置传感器(3)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710172936.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：寄生电容补偿系统和方法
- 下一篇：敏感性光罩
