[发明专利]一种全折射式投影光学系统有效
| 申请号： | 200710172802.0 | 申请日： | 2007-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN101231378A | 公开（公告）日： | 2008-07-30 |
| 发明（设计）人： | 储兆祥;黄玲;李铁军 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B9/34 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种折射式投影光学系统，采用全折射式的结构，避免使用转折棱镜和较大的球面反射镜，降低了加工和装配的难度；该折射式投影光学系统具有较长的物方和像方工作距，降低了实际使用过程中对工件台和掩模台设计空间的约束；该折射式投影光学系统均采用紫外高透过率光学材料校正ghi三线的二级光谱，实现了较高的透过率，同时较好地校正了色差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 折射 投影 光学系统 | ||
【主权项】：
1.一种全折射式投影光学系统，其特征在于：从物面到像面依次排列第一镜片组、第二镜片组、光阑、第三镜片组、第四镜片组；所述第一与第四镜片组、第二与第三镜片组分别相对于所述光阑对称；所述第一镜片组具有正光焦度，其包括从物面到像面依次排列的透镜一、透镜二、透镜三、透镜四，其中，透镜一为双凹透镜，透镜二为凹面朝向物面的负弯月透镜，透镜三为凹面朝向物面的正弯月透镜，透镜四是正透镜；所述第二镜片组具有正光焦度，其包括从物面到像面依次排列的透镜五、透镜六、透镜七、透镜八。
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