[发明专利]研磨液组合物无效
| 申请号： | 200710169501.2 | 申请日： | 2003-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN101173160A | 公开（公告）日： | 2008-05-07 |
| 发明（设计）人： | 北山博昭;藤井滋夫;大岛良晓;萩原敏也 | 申请（专利权）人： | 花王株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种研磨液组合物，含有研磨材、水、和有机酸或其盐，其剪切速度1500s－1时的在25℃的特定粘度为1.0－2.0MPa·s；一种端面下垂降低剂，由具有用下式表示(粘度降低量＝基准研磨液组合物的粘度－含有端面下垂降低剂的研磨液组合物的粘度)的粘度降低量为0.01MPa·s以上的粘度降低作用的布朗斯台德酸或其盐构成，其中，基准研磨液组合物由研磨材20重量份、柠檬酸1重量份及水79重量份构成，含有端面下垂降低剂的研磨液组合物由研磨材20重量份、柠檬酸1重量份、水78.9重量份及端面下垂降低剂0.1重量份构成，粘度是指在剪切速度1500s－1、25℃下的粘度。前述研磨液组合物或端面下垂降低剂组合物可很好地用于精密部件用基板等的研磨。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 | ||
【主权项】：
1.一种研磨液组合物，其含有端面下垂降低剂、研磨材和水，所述端面下垂降低剂由具有用下式表示的粘度降低量为0.01mPa·s以上的粘度降低作用的布朗斯台德酸或其盐构成，粘度降低量＝基准研磨液组合物的粘度-含有端面下垂降低剂的研磨液组合物的粘度其中，基准研磨液组合物由研磨材20重量份、柠檬酸1重量份及水79重量份构成，该研磨材是用α型的刚玉晶体构成的Al2O3纯度为98.0重量％以上的高纯度氧化铝；含有端面下垂降低剂的研磨液组合物由研磨材20重量份、柠檬酸1重量份、水78.9重量份及端面下垂降低剂0.1重量份构成，该研磨材是用α型的刚玉晶体构成的Al2O3纯度为98.0重量％以上的高纯度氧化铝；所述粘度是指在剪切速度1500s-1、25℃下的粘度。
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