[发明专利]矩形样品磁控溅射仪运动控制装置及其控制方法有效
| 申请号： | 200710158573.7 | 申请日： | 2007-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN101451233A | 公开（公告）日： | 2009-06-10 |
| 发明（设计）人： | 耿达;戚晖;张军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;G05B19/02 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许宗富 |
| 地址： | 110168辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种矩形样品磁控溅射仪运动控制装置及其控制方法，该装置具有工业控制计算机、运动执行机构及运动控制卡，运动控制卡接收运动执行机构的反馈信号，并向运动执行机构发送控制信号，运动控制卡与工业控制计算机进行通讯连接；工业控制计算机存有控制程序。该方法包括以下步骤：初始化操作；进入等待及状态显示界面，同时报警检测；用户手动设置系统状态参数；控制代码的设定，将用户设置的代码转换成运动控制卡能够识别的运动函数；控制程序是否按控制代码自动运行以及运行结束后样品状态设定；选择是，则开线程运行系统并实时显示；程序结束运行。本发明提高了样品成膜的均匀性，操作简单、易实现，且安装和携带方便。 | ||
| 搜索关键词： | 矩形 样品 磁控溅射 运动 控制 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种矩形样品磁控溅射仪运动控制装置，具有工业控制计算机及运动执行机构，其特征在于：在工业控制计算机及运动执行机构之间设有运动控制卡，其接收运动执行机构的反馈信号，并向运动执行机构发送控制信号，运动控制卡通过USB接口与工业控制计算机进行通讯连接，运动控制卡中存有运动控制的基本函数；工业控制计算机存有控制程序。
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