[发明专利]采用缓冲机械装置以及衬底传送装置的衬底处理装置

摘要

一种用于在反应室中装载和卸载衬底的衬底传送装置，包括：具有远端的臂，该远端可以沿直线方向横向地移动；以及在反应室里装载和卸载衬底的末端操作元件，所述末端操作元件包括底部末端操作元件和上部末端操作元件。底部末端操作元件和上部末端操作元件之一可移动在所述臂的远端与所述臂连接，而底部末端操作元件和上部末端操作元件中的另一个则固定到可移动地连接着的末端操作元件上。这个固定的末端操作元件固定到这个可移动地连接着的末端操作元件。

主权项

1.一种用于在反应室中装载和卸载衬底的衬底传送装置，包括：具有一个远端的臂，其可以沿直线方向横向地移动；以及在反应室里装载和卸载衬底的末端操作元件，所述末端操作元件包括底部末端操作元件和上部末端操作元件，其中所述底部末端操作元件或所述上部末端操作元件之一可移动地连接在所述臂的所述远端，而所述底部末端操作元件或所述上部末端操作元件中的另一个则固定到可移动地连接着的末端操作元件，其中所述可移动地连接着的末端操作元件具有正侧、后侧、右侧、和左侧，并且所述固定的末端操作元件由唯一地固定到该可移动的连接着的末端操作元件的右侧或者左侧的多个部分组成。