[发明专利]有机金属化合物无效
| 申请号： | 200710141350.X | 申请日： | 2007-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN101182339A | 公开（公告）日： | 2008-05-21 |
| 发明（设计）人： | D·V·舍奈－卡特克哈特;Q·M·王 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C07F19/00 | 分类号： | C07F19/00;C07F9/50;C23C16/18 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供某些亚氨基络合物形式的有机金属化合物。这类络合物特别适合用作气相沉积的前体。还提供例如通过ALD和CVD，用所述化合物沉积薄膜的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 金属 化合物 | ||
【主权项】：
1.一种有机金属化合物，具有以下通式：(EDG-(CR1R2)y-N＝)nM+mL1 x′L2 x″L3 p，式中，R1和R2独立地选自H、(C1-C6)烷基和EDG；EDG是给电子基团；M＝金属；L1＝阴离子型配体；L2是选自氨基、烷基氨基、二烷基氨基和烷氧基烷基二烷基氨基的配体；L3＝中性配体；y＝0-6；m＝M的价数；n＝1-2；x’≥0；x”≥0；m＝2n+x’+x”；p＝0-3；其中，当m＝2-3时n＝1，当m≥4时n＝1-2；L1≠L2；条件是当m≥3且EDG＝氨基、烷基氨基、二烷基氨基、吡啶基或烷氧基时，x’≥1。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗门哈斯电子材料有限公司，未经罗门哈斯电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710141350.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
