[发明专利]沟槽图案的深度的测定方法和测定装置

摘要

一种沟槽图案的深度的测定方法和测定装置，把在测定区域(93)形成有沿给定沟槽方向延伸的沟槽图案的基板(9)保持在保持部(21)上；光照明部(3)对基板(9)的测定区域(93)照射照明光，分光器(5)的衍射光栅(52)把来自测定区域(93)的照明光的反射光分光，从而取得测定分光反射率。此时在沟槽形状测定装置(1)中，以使对应于衍射光栅(52)的光栅方向的基板(9)上的方向与沟槽方向45度的状态来配置衍射光栅(52)，所以即使在因沟槽图案的影响而限定了来自基板(9)的反射光的振动方向的情况下，也不会受反射光的偏振光的影响而能正确地求得测定区域(93)的分光反射率，并能高精度地求出沟槽图案的深度。

主权项

1.一种沟槽图案的深度的测定方法，该沟槽图案形成在基板上，其特征在于，包括如下步骤：a步骤：对在测定区域形成有沿给定方向延伸的沟槽图案的基板照射照明光；b步骤：把对来自所述基板的所述照明光的反射光进行引导的衍射光栅，以与所述衍射光栅的光栅方向对应的所述基板上的方向和所述给定方向所成的角度为40度以上50度以下的状态进行配置，所述衍射光栅接受所述反射光并将其分光；c步骤：检测器接受由所述b步骤分光后的光并取得所述测定区域的测定分光反射率；d步骤：将至少把所述沟槽图案的深度和所述沟槽图案的底面的面积率作为参数进行运算所求得的理论分光反射率与所述测定分光反射率进行比较，由此确定所述参数的值。