[发明专利]MEMS开关以及MEMS开关的制造方法有效
| 申请号： | 200710140210.0 | 申请日： | 2007-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN101118819A | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 渡边徹;佐藤彰;稻叶正吾;森岳志 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;H01H57/00;H01H49/00;H01P1/10;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS开关以及MEMS开关的制造方法。以往，当将MEMS开关应用于分压电路时，因为MEMS开关的电阻被抑制得较低，所以需要外附分压用的电阻。因此，MEMS开关周边的电路部件数增大。因而，存在芯片面积增加，芯片内部的温度分布的绝对值增大，各电阻间的温度产生分布，由于电阻具有的温度系数而使电阻值相对变动，从分压电路得到的电压值的精度降低的问题。为了解决上述问题，本发明对MEMS开关的可动部分使用了具有电阻的可动电阻体。由于开关自身具有电阻，因此可以省略与MEMS开关连接的分压用的电阻。因此，可以使芯片面积小型化，抑制芯片内部的温度分布的绝对值，并抑制因电阻具有的温度系数所导致的电阻值相对变动。 | ||
| 搜索关键词： | mems 开关 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS开关，其具有在基板的第1主面侧形成的固定电极、和可动电阻体，其特征在于：当所述MEMS开关被设定为导通状态时，所述可动电阻体是分配电位的电阻。
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