[发明专利]激光光线照射装置及激光加工器

摘要

本发明提供激光光线照射装置及激光加工器。即使利用使用了声光元件的声光偏转单元使激光光线的光轴偏转也能实施均匀加工。激光光线照射装置具有：振荡出激光光线的激光光线振荡单元；使振荡出的激光光线光轴偏转的声光偏转单元；使偏转的激光光线聚光的聚光器；控制单元，还具备激光光线输出检测单元，其具有：将偏转的激光光线的一部分分光的光束分离器；接受分光后的激光光线的受光元件，控制单元对应偏转角度调整单元的控制信号，根据受光信号，求出激光光线实际输出，以实际输出的最低值为基准，计算对应各个控制信号的实际输出的比率和对应该实际输出的比率的校正值，生成控制图，根据控制图控制声光偏转单元的输出调整单元。

主权项

1.一种激光光线照射装置，其具有：振荡出激光光线的激光光线振荡单元；使由该激光光线振荡单元振荡出的激光光线的光轴偏转的声光偏转单元；和使通过该声光偏转单元而偏转的激光光线聚光的聚光器，该声光偏转单元具有：使由该激光光线振荡单元振荡出的激光光线的光轴偏转的声光元件；向该声光元件施加RF的RF振荡器；调整从该RF振荡器输出的RF的频率的偏转角度调整单元；调整通过RF振荡器生成的RF的振幅的输出调整单元；控制该偏转角度调整单元和该输出调整单元的控制单元，其特征在于，该激光光线照射装置具备激光光线输出检测单元，该激光光线输出检测单元具有：光束分离器，其设在该声光元件和该聚光器之间，将通过该声光元件而偏转的激光光线的一部分分光；和受光元件，其接受通过该光束分离器分光后的激光光线，该激光光线输出检测单元将通过该受光元件受光的受光信号发送给该控制单元，该控制单元对应于控制偏转角度调整单元的控制信号，根据从该激光光线输出检测单元发送的受光信号，求出激光光线的实际输出，以该实际输出的最低值为基准，运算对应于各个控制信号的实际输出的比率，运算对应于该实际输出的比率的校正值并生成控制图，根据该控制图控制该输出调整单元。