[发明专利]制造图案化结构的工艺有效
| 申请号： | 200710139105.5 | 申请日： | 2007-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN101112789A | 公开（公告）日： | 2008-01-30 |
| 发明（设计）人： | 今田彩;田透 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B29C59/02 | 分类号： | B29C59/02;B29C33/42;G11B5/84;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 冯谱 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种用于制造图案化结构的工艺，包括：压印第一图案，其通过抵着压印工作层来压下表面上具有凸起－凹陷配置的压模；以及，压印第二图案，其通过将压模从第一图案的位置相对位移到该压印工作层上的另一位置，然后抵着压印工作层压下该压模。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 图案 结构 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造图案化结构的工艺，该工艺包括：压印第一图案，其通过抵着压印工作层来压下表面上具有凸起-凹陷配置的压模；以及压印第二图案，其通过将所述压模从所述第一图案的位置相对位移到所述压印工作层上的另一位置，然后抵着所述压印工作层压下所述压模。
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